超高真空系统类型有哪些 (超高真空系统常用材料)
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超高真空系统类型有哪些?
1. 分散泵系统 由分散泵、串联机械泵及冷阱等导致,是成功超高真空的关键泵种。
在超高真空失掉环节中,需处置分散泵油、机械泵油的返流污染及油热合成发生的气体返流疑问。
经过液氮冷阱捕集泵油返流,钛升华阱捕集泵油合成气体,良好的污染管理下,可到达10^-10Pa的真空度。
2. 涡轮分子泵抽气系统 由涡轮分子泵串联干式机械泵组成无油超高真空系统。
不烘烤时可成功10^-6Pa的真空度,烘烤后可达10^-8Pa。
若与分散泵串联,降落前级管道中的氢分压,配合钛升华阱,可取得10^-9Pa以上的真空度。
涡轮分子泵内外表积大,烘烤除气必要,但温度普通仅限于100℃左右。
3. 溅射离子泵无油超高真空系统 是取得清洁超高真空的重要手腕,可到达10^-9Pa的真空度。
系统理论由溅射离子泵、钛升华泵、分子筛吸附泵或涡旋泵、液氮阱等组成。
溅射离子泵进行压力低于1Pa,对无机蒸汽敏感,经常使用前需彻底烘烤除气,并用预抽泵排出烘烤监禁的气体。
4. 高温泵抽气系统 以高温泵为主泵,分子筛吸附泵并联或串联。
也可用机械泵预抽,油封机械泵需配油蒸气捕集器。
高温泵不发生碳氢化合物、金属膜剥落碎片及自身气体污染,是一种清洁抽气模式。
20K高温泵可达10^-8Pa真空度,4.2K高温泵可达10^-10至10^-12Pa。
5. 组合系统 依据不同运行需求和特点,可经过组合上述系统以成功更精细的真空需求。
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