银合金键合线IMC的实验审核方法钻研 (银合金键合线加工设备)
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银合金键合线IMC的实验审核方法钻研
银合金键合线IMC的实验审核方法钻研在封装键合环节中,银合金键合线与铝垫之间构成的共金化合物(IMC)是一个关键疑问。
因为银合金线IMC不能经过物理方法确认,因此须要经过软件测量计算和化学腐蚀实验获取IMC笼罩面积。
准确判定并监控银合金线IMC的联合面积,防止因键合不良形成的牢靠性隐患或潜在品质疑问,关于提高产品稳固性至关关键。
1 IMC与腐蚀危害键合界面的力学行为与键合牢靠性与金属间化合物的成分与性能亲密关系。
银合金线键合后界面处的金属间化合物(IMC)的成长状况,不时是业界关注的焦点。
因为银合金线的材质个性,其与铝垫构成的IMC层与周围的银层难以辨别,使得物理确认方法较艰巨。
经过化学腐蚀实验和软件测量的方法,联合金属界面上的IMC成长实践,可以获取其IMC笼罩面积,构成一套银合金线IMC的测量监控方法。
银线在超声热压焊环节中,经过MSL2预解决和PCT240h后,IMC会腐蚀Au-Ag-Al-Pd界面。
足够的IMC特色长度对银合金线至关关键,尤其是铝垫在湿气环境中的电化学腐蚀,会减速IMC腐蚀,影响焊点的机械强度和寿命,特意是疲劳强度。
2 银合金线IMC监控环节中存在的疑问传统的金线产品,因为金线的IMC层与周围的金层有显著色差,可以经过物理方法和软件测量其合金层笼罩面积。
但是,银合金线与铝垫构成的IMC层与银层色彩相近,物理确认方法较难成功,因此须要钻研化学腐蚀确认方法。
3 银合金线IMC实验审核方法在启动IMC实验时,须要预备一系列辅佐资料和实验装置,包含加热台、超声波荡涤器、高倍显微镜、镊子、挑针、刀片、烧杯、滤纸、移液管、防护眼镜、橡胶手套等。
化学试剂包含浓硝酸(98%)、纯水、丙酮等。
实验流程包含挑开焊点、剪切资料、切割载体、取下芯片与框架载体、烘烤、化学腐蚀、超声波荡涤、观察并拍照IMC层、测量IMC面积等步骤。
3.3 银合金线IMC测量方法软件测量方法是经过Image-proplus6.0测量软件,选用IMCSCC_REV4菜单,应用取色笔测量IMC面积的百分比值。
测量原理是经过Pad面与IMC层面的色差比拟,软件智能计算IMC共金面积。
3.4 机械抛光切片审核机械抛光切片审核是一种惯例方法,经过环氧树脂塑封样品,经常使用机械抛光研磨,应用SEM表征试样外部形貌。
这种方法可以观察银合金线与铝层之间的联合外表外形、铝层残留平坦度,以及银合金线构成的球形形貌。
但是,机械抛光方法在微米级别样品经常使用时存在弊病,容易破坏外表形貌,且可重复性较差。
3.5 IMC结果牢靠性验证经过对20μm(0.8mil)银合金线启动IMC测试,最小测试数据为85.28%,验证了实验审核方法的有效性。
该产品在全套牢靠性考核中,FT测试经过,各名目的满足JEDEC规范,说明钻研的IMC实验审核方法可以有效预估牢靠性结果。
完结语本文钻研了银合金键合线IMC的原理、实验审核方法及其在封装环节中的监控疑问。
经过物理和化学方法的联合,可以准确判定并监控IMC的联合面积,有效防止键合不良造成的牢靠性隐患。
在实践运行中,须要留意银线的防护管控以及管理银线迁徙疑问,以提高产品的稳固性。
半导体imc什么意思
在半导体封装畛域,铜线正在日益取代金线作为引线资料。
IMC (Cu/Al 金属间化合物)测量是测试铜线Bonding 的牢靠性、导电性的关键手腕,以确保芯片能够反常上班。
IMC 测量软件是基于Image-Pro Plus7.0平台开发的高度智能化的IMC 测量公用软件,只有便捷步骤就可以准确成功图像采集、IMC 测量以及数据输入上班,缩君子为误差,操作便捷、高效。
IMC 测量罕用的显微镜为金相显微镜;50X 物镜,反射式照明。
专门针对IMC 测量开发的软件界面,没有多余的按钮,配置按钮明晰繁复,不须要繁琐的培训。
IMC 测量软件的边缘智能提取工具可以极速智能提取球区域面积,色彩吸管工具可以分别出球区域内的非IMC区域,并给出计算结果。
IMC 测量的结果图像和数据可以智能保留到指定的文件夹中。
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