什么是薄膜应变 (什么是薄膜应力?有几种?各自的作用方向?)

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• 什么是薄膜应变？
• 硅外延中的应力层是什么

什么是薄膜应变？

薄膜式应变片的敏感栅是以蒸镀或溅射法堆积的金属、合金薄膜制成的。

其厚度普通在0.1μm以下。

实践上，理论是将薄膜式应变片与传感器的弹性体制成一个无法宰割的全体，亦即在传感器弹性体的应变敏感部位外表上首先堆积构成很薄的绝缘层，而后在其下面堆积薄膜应变片的图形，而后再覆上一层包全层。

因为薄膜式应变片与传感器的弹性体之间只要一层超薄绝缘层（厚度仅为几个纳米），很容易经过弹性体散热，因此准许经过比其余种类应变片更大的电流，并可以取得更高的输入和更佳的稳固性。

硅外延中的应力层是什么

应力层是指在成长外延层时，在外延层和衬底之间引入的一层薄膜。

应力层是由一种称为应力缓冲层的资料制成的，可以是金属、氧化物等资料，作用是调理外延层中的应力散布，以防止外延层中的毛病和分裂。